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硅晶片清洗機
產(chǎn)品型號:CGB
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產(chǎn)品價格:
折 扣 率: 0
最后更新:2015-11-20
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生產(chǎn)企業(yè):北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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產(chǎn)品詳細(xì)介紹 

硅晶片清洗機



  用于硅晶片清洗腐蝕; 
  設(shè)備形式室內(nèi)放置型;
  控制模式手動控制模式   自動控制模式;



  清洗能力:2inch、4 inch、6inch8inch,
2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
  尺寸(參考,含地腳)2000  mm(L)× 1500 mm(W)×



 2200  mm(H);



  工藝說明:手動方式實現(xiàn)放件,取件,槽體間傳送件;



  腐蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性;



  工藝參數(shù)(溫度,時間,DIW水清洗模式、時間可調(diào))手動由觸摸屏界面可設(shè)定;



  機臺前方為清洗工作區(qū)域,機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域,后下方為液路布置區(qū)域;



  藥液供給及補液方式分體式CDS自動供液系統(tǒng);



  DI槽配有在線式水質(zhì)檢測裝置“


北京華林嘉業(yè)科技有限公司
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