|
INFICON UL1000 型氦檢漏儀尤其適用于元件精確檢漏的要求，靈活性測(cè)試，高靈敏度，快速于精確的結(jié)果，快速啟動(dòng)，移動(dòng)性和系統(tǒng)的可靠性。
|
|
UL1000符合做微電子工業(yè)市場(chǎng)的要求。其特點(diǎn)從堅(jiān)固的金屬外殼并帶有適用于潔凈室的輪子，還有I-CAL(智能化漏率計(jì)算系統(tǒng)),無(wú)與倫比的 噪聲抑制濾波，柔性均值算法和漂移抑制功能。用于消除在10-11至10-12超高靈敏漏率范圍中長(zhǎng)時(shí)間 平衡的程序。
|
|
系統(tǒng)軟件包含帶有故障查找指令的先進(jìn)自診斷程序。并可調(diào)用防止氦氣或工藝氣體污染的保護(hù)性功能。UL1000的通風(fēng)系統(tǒng)不會(huì)干擾通常清潔室中從天花板至地面的空氣流動(dòng)。渦輪分子泵的抽速和壓縮比可降低并消除氦污染。
|
|
UL1000具有可轉(zhuǎn)動(dòng)的控制界面，裝在儀器商的顯示器用十分清楚的大型字體顯示測(cè)量結(jié)果于狀態(tài)信息，這樣可遠(yuǎn)距離方便地觀察讀值。
|
|
應(yīng)用：
|
 半導(dǎo)體工藝設(shè)備的維護(hù)，該設(shè)備本身帶或未帶有真空泵 |
工藝氣體系統(tǒng)的檢測(cè)與安裝
|
元器件在組裝前的漏率測(cè)試
|
要求高抽速、高靈敏度以及清潔測(cè)試條件的應(yīng)用場(chǎng)合
|
| |
|
技術(shù)參數(shù)
|
|
最小可檢漏率（按AVS2.1和EN1518標(biāo)準(zhǔn)）
|
＜5×10-12mbar.l/s
|
|
最小可檢漏率（吸入器模式）
|
＜3×10-8mbar.l/s
|
|
入口壓強(qiáng) 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
|
15 mbar
2 mbar
0.4 mbar
|
|
在抽空過(guò)程中的抽速
|
25立方米/小時(shí)
|
|
入口壓強(qiáng)對(duì)氦氣抽速 粗檢模式
精檢模式
超精檢模式
|
8 升/秒
7升/秒
2.5升/秒
|
|
可檢質(zhì)量數(shù)
|
2、3、4amu, 氫，3氦，氦
|
|
電源電壓
|
110－120V；220－241V
|
|
重量
|
110公斤；242磅
|
|
尺寸，包括手把（長(zhǎng)×寬×高）
|
1068×525×850毫米
|
|
在線客服
與企業(yè)聯(lián)系時(shí)請(qǐng)告知該信息來(lái)自教育裝備網(wǎng)！
