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最后更新:2010-09-20
關(guān) 注 度:6667
生產(chǎn)企業(yè):上海卓倫微納米設(shè)備有限公司
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產(chǎn)品詳細介紹1.掃描系統(tǒng):
1.1 掃描模式:STM恒流/恒高模式,I-Z/I-V曲線測量;AFM接觸/橫向力/輕敲/相移模式,力曲線測量
1.2 最大掃描范圍:50μm*50μm掃描器(可選配100μm*100μm掃描器)
單一大量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù),最大100μm掃描器可達HOPG原子分辨率
1.3 分辨率:
掃描隧道顯微鏡STM:X-Y向0.1nm;Z向0.01nm;HOPG原子定標
接觸模式AFM:X-Y向0.2nm;Z向0.03nm;云母晶格定標
輕敲模式AFM:X-Y向0.2nm,Z向0.1nm;DNA樣品驗證
單一大量程自適應(yīng)掃描器不更換技術(shù),最大100μm掃描器可達HOPG原子分辨
1.4 樣品臺尺寸:直徑≤Φ65mm,厚度≤30mm,重量≤15g
1.5 探針識別:自動識別當前針尖類型,軟硬件自動切換到相應(yīng)的工作模式,無需人工干預(yù)。
1.6 探針保護:獨特設(shè)計的針尖保護技術(shù),包括自動進針保護和平滑移動保護,能有效降低樣品對針尖的損傷,使儀器長時間保持高分辨圖像。
1.7 探針趨近:高精度高速伺服電機,控制針尖自動逼近樣品,行程<30mm,步長<23nm
1.8 樣品移動:計算機控制 高精度電控樣品移動平臺(國內(nèi)獨家配置)
1.9 納米加工:矢量刻蝕功能 、圖形刻蝕功能(選配)
2.樣品定位功能模塊
2.1 高分辨CCD光學(xué)顯微系統(tǒng):在計算機上成像,用于觀察探針和樣品,放大倍數(shù)80—600倍,視場1.6mm,工作距離10cm,配套控制及成像軟件。一體式設(shè)計,工作過程中不必移開,可全程隨時觀測。
2.2 高精度電控樣品移動平臺:計算機自動控制,配合光學(xué)顯微系統(tǒng)進行精確樣品移動和定位,全程可視;
2.2.1 移動范圍5mm*5mm,單步最小步長50nm
2.2.2 高精度電控移動平臺和單一大量程自適應(yīng)掃描器技術(shù)結(jié)合,實現(xiàn)從最大量程到最小幾納米掃描范圍內(nèi),全程計算機控制樣品定位,無盲點
2.2.3 直接用鼠標拖動待測區(qū)到目的地,計算機控制移動平臺自動移動
2.2.4 可任意設(shè)置原點位置,一鍵返回(計算機控制移動平臺自動回到設(shè)置的原點位置)
2.2.5 可任意標記多個測樣點,編制定位路徑,計算機控制移動平臺自動到達各設(shè)定的測樣點
2.2.6 可直接輸入X、Y方向移動數(shù)值,計算機控制移動平臺自動定位 國內(nèi)獨家配置,其它廠商只提供手動調(diào)節(jié)的精密螺桿移動平臺,無法實現(xiàn)樣品精密定位搜尋。
2.3 單一大量程自適應(yīng)掃描器:最大100μm掃描器可達HOPG原子分辨率,測樣過程中不用更換掃描器可實現(xiàn)從50微米—幾納米掃描范圍連續(xù)定位高精度成像(全球獨有核心關(guān)鍵技術(shù))
3.控制系統(tǒng):
3.1 控制/采集精度:采用雙16位掃描/采樣差分同步獨立高壓放大專利技術(shù),16通道雙16位A/D (精度相當于23位);12通道16位D/A;4通道雙16位D/A(精度相當于23位)
3.2 反饋方式:8通道 數(shù)字化反饋+數(shù)控模擬反饋
3.3 中樞控制器:32位ARM技術(shù),16 M RAM ,2M Flash ROM
3.4 中樞總線:數(shù)字總線:速度24M/s,寬度16位;外部地址總線:速度24M/s,寬度8位;固件下載總線:速度500Kb/s,寬度8位,可直接遠程下載升級可編程電子器 件中的程序;模擬總線:-10~+10V,信噪比200000:1。
3.5 中樞總線余量:3通道16位D/A;3通道雙16位A/D(精度相當于23位);20位DIO
3.6 擴展余量:16通道16位D/A;16通道雙16位A/D(精度相當于23位)
3.7 高壓單元:±300V 紋波噪聲1.5mV;4通道雙16位D/A(精度相當于23位)提供掃描器XYZ三個方向的控制電壓;可擴展到8通道
3.8 計算機接口:USB2.0接口
3.9 掃描頻率:0.1~300Hz
3.10 掃描角度:-180?~180?連續(xù)可調(diào)
3.11 圖像采樣點:128×128/ 256×256 / 512×512 / 1024×1024 / 2048×2048可調(diào)
3.12 電流檢測靈敏度≤10pA
3.13 力檢測靈敏度≤1pN
3.14 預(yù)置隧道電流:1pA~50nA
3.15 偏置電壓:-10~+10V
4.軟件系統(tǒng):
4.1 操作系統(tǒng):Windows 98/2000/XP
4.2 在線控制軟件:四窗口圖像界面,可觀察4個不同數(shù)據(jù)通道同步成像;系統(tǒng)智能記憶功能:一個參數(shù)改變,相關(guān)參數(shù)會根據(jù)系統(tǒng)經(jīng)驗自動調(diào)節(jié)到最佳范圍;壓電陶瓷非線性校正,曲面擬合校正,樣品傾斜校正等。
4.3 圖像處理軟件:3D顯示,濾波處理,圖像修飾,邊緣增強、形態(tài)學(xué)處理、圖像格式轉(zhuǎn)換,圖像幾何變換、調(diào)色板設(shè)置等。
4.4 數(shù)據(jù)分析軟件:粗糙度分析,顆粒度分析,剖面分析,膜厚分析、臺階分析、各種曲線統(tǒng)計/分析等。
4.5 軟件開發(fā)模板:便于用戶進行二次開發(fā),完成特殊的數(shù)據(jù)處理功能。
4.6 專業(yè)膜厚/臺階測量分析軟件:用SPM儀器測量膜厚的技術(shù)關(guān)鍵在于有效搜尋到并能夠控制探針移動到薄膜或者臺階的邊沿,只有使用我們國內(nèi)獨家配置的高精度電控樣品移動平臺配合CCD系統(tǒng)才可以做到。
4.7 遠程控制軟件:支持遠程網(wǎng)控技術(shù),提供遠程培訓(xùn)、遠程檢修、遠程實驗服務(wù)(選配)
4.8 軟件服務(wù)包:軟件以插件方式終身享受免費升級服務(wù)。
5.工作條件:
5.1 環(huán)境溫度:0-35攝氏度
5.2 相對濕度:0-65%
5.3 工作電壓:220V(±10%),50Hz
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會員級別:免費會員 |
加入時間:2010-09-20
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